イオン注入と熱処理による金属相MoTe2の形成

イオン注入と熱処理による金属相MoTe₂の形成

Translated title of the contribution: Metallic MoTe₂ formation with a combination of ion implantation and thermal anneal

Research output: Contribution to journal › Misc

Translated title of the contribution	Metallic MoTe₂ formation with a combination of ion implantation and thermal anneal
Original language	Japanese
Pages (from-to)	-
Journal	応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
Volume	81st
State	Published - 2020

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T1 - イオン注入と熱処理による金属相MoTe2の形成

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PY - 2020

Y1 - 2020

M3 - Misc

SN - 2758-4704

VL - 81st

SP - -

JO - 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)

JF - 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)

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