イオン注入法がSi1-XCX/Si(001)構造の欠陥形成過程に及ぼす効果

Research output: Contribution to conference › Presentation

Original language	Japanese
State	Published - Mar 2014
Event	第61回応用物理学春季学術講演会 - Duration: 17 Mar 2014 → …

Conference	第61回応用物理学春季学術講演会
Period	17/03/14 → …

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author = "中込諒 and 酒井翔一朗 and 藤原幸亮 and 古川洋志 and 有元圭介 and 山中淳二 and 中川清和 and 宇佐美徳隆 and 星裕介 and Kentarou SAWANO",

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note = "第61回応用物理学春季学術講演会 ; Conference date: 17-03-2014",

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TY - CONF

T1 - イオン注入法がSi1-XCX/Si(001)構造の欠陥形成過程に及ぼす効果

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AU - SAWANO, Kentarou

PY - 2014/3

Y1 - 2014/3

M3 - 口頭発表

T2 - 第61回応用物理学春季学術講演会

Y2 - 17 March 2014

ER -