イオン注入法がSi1-XCX/Si(001)構造の欠陥形成過程に及ぼす効果

中込諒, 酒井翔一朗, 藤原幸亮, 古川洋志, 有元圭介, 山中淳二, 中川清和, 宇佐美徳隆, 星裕介, Kentarou SAWANO

Research output: Contribution to conference › Presentation

Original language	Japanese
State	Published - Mar 2014
Event	第61回応用物理学春季学術講演会 - Duration: 17 Mar 2014 → …

Conference	第61回応用物理学春季学術講演会
Period	17/03/14 → …

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TY - CONF

T1 - イオン注入法がSi1-XCX/Si(001)構造の欠陥形成過程に及ぼす効果

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AU - SAWANO, Kentarou

PY - 2014/3

Y1 - 2014/3

M3 - 口頭発表

T2 - 第61回応用物理学春季学術講演会

Y2 - 17 March 2014

ER -