イオン注入法がSi1-XCX/Si(001)構造の欠陥形成過程に及ぼす効果

中込諒, 酒井翔一朗, 藤原幸亮, 古川洋志, 有元圭介, 山中淳二, 中川清和, 宇佐美徳隆, 星裕介, Kentarou SAWANO

Research output: Contribution to conferencePresentation

Original languageJapanese
StatePublished - Mar 2014
Event第61回 応用物理学春季学術講演会 -
Duration: 17 Mar 2014 → …

Conference

Conference第61回 応用物理学春季学術講演会
Period17/03/14 → …

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