イオン注入法で作製した圧縮歪みSi/Si1-xCx/Si(001)構造の結晶性及びデバイス特性評価

中込諒, 酒井翔一朗, 藤原幸亮, 古川洋志, 有元圭介, 山中淳二, 中川清和, 宇佐美徳隆, 星裕介, Kentarou SAWANO

Research output: Contribution to conference › Presentation

Original language	Japanese
State	Published - Sep 2014
Event	第75回応用物理学会秋季学術講演会 - Duration: 17 Sep 2014 → …

Conference	第75回応用物理学会秋季学術講演会
Period	17/09/14 → …

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TY - CONF

T1 - イオン注入法で作製した圧縮歪みSi/Si1-xCx/Si(001)構造の結晶性及びデバイス特性評価

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AU - SAWANO, Kentarou

PY - 2014/9

Y1 - 2014/9

M3 - 口頭発表

T2 - 第75回応用物理学会秋季学術講演会

Y2 - 17 September 2014

ER -