イオン注入法で作製した圧縮歪みSi/Si1-xCx/Si(001)構造の結晶性及びデバイス特性評価

イオン注入法で作製した圧縮歪みSi/Si_1-xC_x/Si(001)構造の結晶性及びデバイス特性評価

中込諒, 酒井翔一朗, 藤原幸亮, 古川洋志, 有元圭介, 山中淳二, 中川清和, 宇佐美徳隆, 星裕介, Kentarou SAWANO

Research output: Contribution to journal › Misc

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PY - 2014

Y1 - 2014

M3 - Misc

SN - 2758-4704

VL - 75th

SP - -

JO - 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)

JF - 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)

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