バイオテンプレート極限加工によるSi1-xGexナノディスクの作製と特性評価

Research output: Contribution to conference › Presentation

Original language	Japanese
State	Published - Sep 2015
Event	第76回応用物理学会秋季学術講演会 - Duration: 13 Sep 2015 → …

Conference	第76回応用物理学会秋季学術講演会
Period	13/09/15 → …

Cite this

@conference{e15aec93e7a64b408ba3a82b56b506fb,

title = "バイオテンプレート極限加工によるSi1-xGexナノディスクの作製と特性評価",

author = "\{藤井拓也\} and \{澤野憲太郎\} and \{寒川誠二\} and Kentarou SAWANO",

year = "2015",

month = sep,

language = "Japanese",

note = "第76回応用物理学会秋季学術講演会 ; Conference date: 13-09-2015",

}