| Original language | Japanese |
|---|---|
| State | Published - 2006 |
| Event | 第53回応用物理学関係連合講演会予稿集 - Duration: 1 Jan 2006 → … |
Conference
| Conference | 第53回応用物理学関係連合講演会予稿集 |
|---|---|
| Period | 1/01/06 → … |
プラズマ窒化により形成したSi/Si3N4界面のSi 2p3/2 XPSスペクトルの第一原理計算
Research output: Contribution to conference › Presentation