マスクレスウェットエッチングで形成したフォトニックナノ構造の形状制御と光学特性

Translated title of the contribution: マスクレスウェットエッチングで形成したフォトニックナノ構造の形状制御と光学特性

Yusuke HOSHI, PAN W, 木口賢紀, 大井万史, 太野垣健, 宇佐美徳隆

Research output: Contribution to journal › Misc

Translated title of the contribution	マスクレスウェットエッチングで形成したフォトニックナノ構造の形状制御と光学特性
Original language	Japanese
Pages (from-to)	ROMBUNNO.30P-A4-8 -
Journal	応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
Volume	60th
State	Published - 11 Mar 2013

Cite this

@article{40e1deb0d8ce4f249b4e3b7d120c5e7b,

title = "マスクレスウェットエッチングで形成したフォトニックナノ構造の形状制御と光学特性",

author = "Yusuke HOSHI and \{PAN W\} and 木口賢紀 and 大井万史 and 太野垣健 and 宇佐美徳隆",

year = "2013",

month = mar,

day = "11",

language = "Japanese",

volume = "60th",

pages = "ROMBUNNO.30P--A4--8 --",

journal = "応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM)",

}

TY - JOUR

T1 - マスクレスウェットエッチングで形成したフォトニックナノ構造の形状制御と光学特性

AU - HOSHI, Yusuke

AU - PAN W, null

AU - 木口賢紀, null

AU - 大井万史, null

AU - 太野垣健, null

AU - 宇佐美徳隆, null

PY - 2013/3/11

Y1 - 2013/3/11

UR - http://jglobal.jst.go.jp/public/201302218282535432

M3 - Misc

VL - 60th

SP - ROMBUNNO.30P-A4-8 -

JO - 応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM)

JF - 応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM)

ER -