伸張歪みSi/緩和SiGe/Si(110)の微細構造および電気的特性への熱処理の影響

宇津山直人, 有元圭介, 山中淳二, 中川清和, 宇佐美徳隆, Kentarou SAWANO

Research output: Contribution to conference › Presentation

Original language	Japanese
State	Published - Sep 2014
Event	第75回応用物理学会秋季学術講演会 - Duration: 17 Sep 2014 → …

Conference	第75回応用物理学会秋季学術講演会
Period	17/09/14 → …

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TY - CONF

T1 - 伸張歪みSi/緩和SiGe/Si(110)の微細構造および電気的特性への熱処理の影響

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AU - SAWANO, Kentarou

PY - 2014/9

Y1 - 2014/9

M3 - 口頭発表

T2 - 第75回応用物理学会秋季学術講演会

Y2 - 17 September 2014

ER -