伸張歪みSi/緩和SiGe/Si(110)の微細構造および電気的特性への熱処理の影響

宇津山直人, 有元圭介, 山中淳二, 中川清和, 宇佐美徳隆, Kentarou SAWANO

Research output: Contribution to conferencePresentation

Original languageJapanese
StatePublished - Sep 2014
Event第75回応用物理学会秋季学術講演会 -
Duration: 17 Sep 2014 → …

Conference

Conference第75回応用物理学会秋季学術講演会
Period17/09/14 → …

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