傾斜組成SiGe/Si(110)と均一SiGe/(110)の歪み緩和機構

渡邊正人, 有元圭介, 山中淳二, 中川清和, 宇佐美徳隆, 中嶋一雄, Kentarou SAWANO, 白木靖寛

Research output: Contribution to conference › Presentation

Original language	Japanese
State	Published - Mar 2008
Event	第55回応用物理学関係連合講演会 - Duration: 27 Mar 2008 → …

Conference	第55回応用物理学関係連合講演会
Period	27/03/08 → …

Cite this

@conference{f2bd0639115e4a698a40c60aa128cc87,

title = "傾斜組成SiGe/Si(110)と均一SiGe/(110)の歪み緩和機構",

author = "渡邊正人 and 有元圭介 and 山中淳二 and 中川清和 and 宇佐美徳隆 and 中嶋一雄 and Kentarou SAWANO and 白木靖寛",

year = "2008",

month = mar,

language = "Japanese",

note = "第55回応用物理学関係連合講演会 ; Conference date: 27-03-2008",

}

TY - CONF

T1 - 傾斜組成SiGe/Si(110)と均一SiGe/(110)の歪み緩和機構

AU - 渡邊正人, null

AU - 有元圭介, null

AU - 山中淳二, null

AU - 中川清和, null

AU - 宇佐美徳隆, null

AU - 中嶋一雄, null

AU - SAWANO, Kentarou

AU - 白木靖寛, null

PY - 2008/3

Y1 - 2008/3

M3 - 口頭発表

T2 - 第55回応用物理学関係連合講演会

Y2 - 27 March 2008

ER -