浅香 航太 (Inventor), 竹内 博昭 (Inventor), Kota ASAKA (Inventor)
Research output: Patent
}
TY - PAT
T1 - 光半導体装置の製造方法
AU - 浅香 航太, null
AU - 竹内 博昭, null
AU - ASAKA, Kota
PY - 2002/9/20
Y1 - 2002/9/20
M3 - 特許
M1 - 特許第3654432号
ER -