極薄シリコン酸窒化膜の種々の結合形態にある窒素原子の深さ方向分布

Research output: Contribution to conference › Presentation

Original language	Japanese
State	Published - 2005
Event	応用物理学会シリコンテクノロジー分科会/電子情報通信学会シリコン材料・デバイス研究会共催第70回研究集会 - Duration: 1 Jan 2005 → …

Conference	応用物理学会シリコンテクノロジー分科会/電子情報通信学会シリコン材料・デバイス研究会共催第70回研究集会
Period	1/01/05 → …

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@conference{fe28f811723a44268c05516a35cb8e27,

title = "極薄シリコン酸窒化膜の種々の結合形態にある窒素原子の深さ方向分布",

author = "Hiroshi NOHIRA",

year = "2005",

language = "Japanese",

note = "応用物理学会シリコンテクノロジー分科会/電子情報通信学会シリコン材料・デバイス研究会共催第70回研究集会 ; Conference date: 01-01-2005",

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