水熱合成法における圧電薄膜の成膜プロセスに関する基礎研究 －過酸化水素を用いたTi基板の前処理による特性の向上－

水熱合成法における圧電薄膜の成膜プロセスに関する基礎研究－過酸化水素を用いたTi基板の前処理による特性の向上－

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TY - JOUR

T1 - 水熱合成法における圧電薄膜の成膜プロセスに関する基礎研究－過酸化水素を用いたTi基板の前処理による特性の向上－

AU - TAKEUCHI, Shinichi

PY - 2004

Y1 - 2004

M3 - Misc

VL - 1167-1168

SP - -

JO - 2004年日本音響学会秋季研究発表会講演論文集

JF - 2004年日本音響学会秋季研究発表会講演論文集

ER -