水素に起因したゲート酸化膜の劣化機構の統一的な理解

Research output: Contribution to conference › Presentation

Original language	Japanese
State	Published - Jan 2006
Event	第11回ゲートスタック研究会―材料・プロセス・評価の物理― - Duration: 1 Jan 2006 → …

Conference	第11回ゲートスタック研究会―材料・プロセス・評価の物理―
Period	1/01/06 → …

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@conference{0cf9959dabd84e9eb22c210c776c0649,

title = "水素に起因したゲート酸化膜の劣化機構の統一的な理解",

author = "Yuichiro MITANI and 山口豪 and 鳥海明",

year = "2006",

month = jan,

language = "Japanese",

note = "第11回ゲートスタック研究会―材料・プロセス・評価の物理― ; Conference date: 01-01-2006",

}