水素ラジカルによる遷移金属の選択加熱を用いた多結晶Si膜形成とデバイスプロセス応用

Research output: Contribution to conference › Presentation

Original language	Japanese
State	Published - 17 Mar 2014
Event	第61回応用物理学春季学術講演会 - Duration: 17 Mar 2014 → …

Conference	第61回応用物理学春季学術講演会
Period	17/03/14 → …

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title = "水素ラジカルによる遷移金属の選択加熱を用いた多結晶Si膜形成とデバイスプロセス応用",

author = "中家大希 and 上村和貴 and 荒井哲司 and 有元圭介 and 山中淳二 and 佐藤哲也 and 中川清和 and 高松利行 and Kentarou SAWANO",

year = "2014",

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day = "17",

language = "Japanese",

note = "第61回応用物理学春季学術講演会 ; Conference date: 17-03-2014",

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TY - CONF

T1 - 水素ラジカルによる遷移金属の選択加熱を用いた多結晶Si膜形成とデバイスプロセス応用

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AU - SAWANO, Kentarou

PY - 2014/3/17

Y1 - 2014/3/17

M3 - 口頭発表

T2 - 第61回応用物理学春季学術講演会

Y2 - 17 March 2014

ER -