無損傷中性粒子ビーム加工を用いたSiGe量子ナノディスク積層構造の作製

米元雅浩, 相良暁彦, 宮本聡, Kentarou SAWANO, 伊藤公平, 白木靖寛, 寒川誠二

Research output: Contribution to conference › Presentation

Original language	Japanese
State	Published - Mar 2007
Event	第54回応用物理学関係連合講演会 - Duration: 27 Mar 2007 → …

Conference	第54回応用物理学関係連合講演会
Period	27/03/07 → …

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TY - CONF

T1 - 無損傷中性粒子ビーム加工を用いたSiGe量子ナノディスク積層構造の作製

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AU - SAWANO, Kentarou

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PY - 2007/3

Y1 - 2007/3

M3 - 口頭発表

T2 - 第54回応用物理学関係連合講演会

Y2 - 27 March 2007

ER -