熱処理によるゲート金属(Ti or TiSi2)/AlGaN界面の化学結合状態変化

Research output: Contribution to conferencePoster

Original languageJapanese
StatePublished - 2013
Event2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会(同志社大) -
Duration: 1 Jan 2013 → …

Conference

Conference2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会(同志社大)
Period1/01/13 → …

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