角度分解X線光電子分光法によるHfO2/Si/歪Ge/SiGe構造の評価

角度分解X線光電子分光法によるHfO₂/Si/歪Ge/SiGe構造の評価

小松新, 那須賢太郎, 星裕介, 榑林徹, Kentarou SAWANO, MYRONOV M., 野平博司, 白木靖寛

Research output: Contribution to journal › Misc

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PY - 2010

Y1 - 2010

M3 - Misc

VL - 57th

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JO - 応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)

JF - 応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)

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