| Original language | Japanese |
|---|---|
| IPC | 特開2017-148829 |
| State | Published - 31 Aug 2017 |
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超短パルスレーザー加工装置
- 田原 大和 (Inventor)
- , 門澤 拓也 (Inventor)
- , 石井 恭 (Inventor)
- , 住吉 哲実 (Inventor)
- , 伊東 明美 (Inventor)
- , Akemi ITO (Inventor)
Research output: Patent