選択的イオン注入法により歪み制御したSiGe疑似基板上への一軸歪みSiGeチャネル形成

Research output: Contribution to journal › Misc

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TY - JOUR

T1 - 選択的イオン注入法により歪み制御したSiGe疑似基板上への一軸歪みSiGeチャネル形成

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AU - SAWANO, Kentarou

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PY - 2012

Y1 - 2012

M3 - Misc

VL - 73rd

SP - -

JO - 応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM)

JF - 応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM)

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