非晶質シリコンのマイクロ波加熱による結晶化の雰囲気依存性

芦澤里樹, 三井 実, 有元圭介, 山中淳二, 中川清和, 荒井哲司, 高松利行, Kentarou SAWANO, 白木靖寛

Research output: Contribution to conferencePresentation

Original languageJapanese
StatePublished - Sep 2007
Event第68回応用物理学会学術講演会 -
Duration: 4 Sep 2007 → …

Conference

Conference第68回応用物理学会学術講演会
Period4/09/07 → …

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