非晶質シリコンのマイクロ波加熱による結晶化の雰囲気依存性

芦澤里樹, 三井実, 有元圭介, 山中淳二, 中川清和, 荒井哲司, 高松利行, Kentarou SAWANO, 白木靖寛

Research output: Contribution to conference › Presentation

Conference	第68回応用物理学会学術講演会
Period	4/09/07 → …

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TY - CONF

T1 - 非晶質シリコンのマイクロ波加熱による結晶化の雰囲気依存性

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PY - 2007/9

Y1 - 2007/9

M3 - 口頭発表

T2 - 第68回応用物理学会学術講演会

Y2 - 4 September 2007

ER -