| Original language | Japanese |
|---|---|
| State | Published - 2004 |
| Event | 第1７回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム - Duration: 1 Jan 2004 → … |
Conference
| Conference | 第1７回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム |
|---|---|
| Period | 1/01/04 → … |
高エネルギーXPSおよび高分解能RBSによるHfO2/Si界面の化学状態分析
Research output: Contribution to conference › Presentation