高誘電率ゲート絶縁膜/Si(100)界面遷移層の熱安定性

Research output: Contribution to conferencePresentation

Original languageJapanese
StatePublished - 2005
Eventシンポジウム「来るべきナノCMOS 時代に向けての挑戦とその課題」 (於 早稲田大学) -
Duration: 1 Jan 2005 → …

Conference

Conferenceシンポジウム「来るべきナノCMOS 時代に向けての挑戦とその課題」 (於 早稲田大学)
Period1/01/05 → …

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