(110)傾斜基板上に形成した歪みSiの電子移動度と結晶性との関係

中澤拓希, 有元圭介, 山中淳二, 中川清和, 宇佐美徳隆, 星裕介, Kentarou SAWANO, 白木靖寛

Research output: Contribution to journal › Misc

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TY - JOUR

T1 - (110)傾斜基板上に形成した歪みSiの電子移動度と結晶性との関係

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PY - 2012

Y1 - 2012

M3 - Misc

VL - 59th

SP - -

JO - 応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)

JF - 応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)

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