16a-S-5 SiO2/Siにおける界面準位の酸化修復機構の解析

加藤弘一, 松下大介, Yuichiro MITANI

Research output: Contribution to conferencePresentation

Original languageJapanese
StatePublished - 16 Sep 2010
Event第71回応用物理学会学術講演会 -
Duration: 14 Sep 2010 → …

Conference

Conference第71回応用物理学会学術講演会
Period14/09/10 → …

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