29p-P9-5 重水素酸化膜を用いたF-Nストレス下での酸化膜界面およびバルクのトラップ生成機構の考察

Yuichiro MITANI, 佐竹秀喜, 鳥海明

Research output: Contribution to conferencePresentation

Original languageJapanese
StatePublished - 29 Mar 2000
Event第47回応用物理学関係連合講演会 -
Duration: 29 Mar 2000 → …

Conference

Conference第47回応用物理学関係連合講演会
Period29/03/00 → …

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