30p-S-3 サブナノメータhigh-kゲートスタック技術

西山彰, 鎌田善己, 小池正浩, Yuichiro MITANI, 鈴木正道, 上牟田雄一, 井野恒洋, 小山正人, 綱島祥隆

Research output: Contribution to conference › Presentation

Original language	Japanese
State	Published - 30 Mar 2005
Event	第52回応用物理学関係連合講演会 - Duration: 29 Mar 2005 → …

Conference	第52回応用物理学関係連合講演会
Period	29/03/05 → …

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TY - CONF

T1 - 30p-S-3 サブナノメータhigh-kゲートスタック技術

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PY - 2005/3/30

Y1 - 2005/3/30

M3 - 口頭発表

T2 - 第52回応用物理学関係連合講演会

Y2 - 29 March 2005

ER -