30p-S-3 サブナノメータhigh-kゲートスタック技術

西山 彰, 鎌田善己, 小池正浩, Yuichiro MITANI, 鈴木正道, 上牟田雄一, 井野恒洋, 小山正人, 綱島祥隆

Research output: Contribution to conferencePresentation

Original languageJapanese
StatePublished - 30 Mar 2005
Event第52回応用物理学関係連合講演会 -
Duration: 29 Mar 2005 → …

Conference

Conference第52回応用物理学関係連合講演会
Period29/03/05 → …

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