30p-S-3 サブナノメータhigh-kゲートスタック技術

Research output: Contribution to conference › Presentation

Original language	Japanese
State	Published - 30 Mar 2005
Event	第52回応用物理学関係連合講演会 - Duration: 29 Mar 2005 → …

Conference	第52回応用物理学関係連合講演会
Period	29/03/05 → …

Cite this

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TY - CONF

T1 - 30p-S-3 サブナノメータhigh-kゲートスタック技術

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AU - MITANI, Yuichiro

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PY - 2005/3/30

Y1 - 2005/3/30

M3 - 口頭発表

T2 - 第52回応用物理学関係連合講演会

Y2 - 29 March 2005

ER -