BF2イオン照射したBaSi2エピタキシャル薄膜の高温アニール

BF₂イオン照射したBaSi₂エピタキシャル薄膜の高温アニール

Translated title of the contribution: BF₂イオン照射したBaSi₂エピタキシャル薄膜の高温アニール

原康祐, 宇佐美徳隆, Yusuke HOSHI, 白木靖寛, 鈴野光史, 都甲薫, 末益崇

Research output: Contribution to journal › Misc

Translated title of the contribution	BF₂イオン照射したBaSi₂エピタキシャル薄膜の高温アニール
Original language	Japanese
Pages (from-to)	ROMBUNNO.2A-W-4 -
Journal	応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
Volume	72nd
State	Published - 16 Aug 2011

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TY - JOUR

T1 - BF2イオン照射したBaSi2エピタキシャル薄膜の高温アニール

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PY - 2011/8/16

Y1 - 2011/8/16

UR - http://jglobal.jst.go.jp/public/201102214627364326

M3 - Misc

VL - 72nd

SP - ROMBUNNO.2A-W-4 -

JO - 応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM)

JF - 応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM)

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