C軸配向AlScNを用いた固相成長ポリシリコンチャネルの結晶制御

野秋元, 堤智也, 桐原芳治, 岡崎樹, 石川亮佑, 角嶋邦之, 三谷祐一郎, Yuichiro MITANI

Research output: Contribution to conference › Poster

Original language	Japanese
State	Published - 1 Feb 2024
Event	第29回電子デバイス界面テクノロジー研究会 - Duration: 31 Jan 2024 → …

Conference	第29回電子デバイス界面テクノロジー研究会
Period	31/01/24 → …

Cite this

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TY - CONF

T1 - C軸配向AlScNを用いた固相成長ポリシリコンチャネルの結晶制御

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AU - MITANI, Yuichiro

PY - 2024/2/1

Y1 - 2024/2/1

M3 - ポスター

T2 - 第29回電子デバイス界面テクノロジー研究会

Y2 - 31 January 2024

ER -