Ge(111)への高濃度Sbデルタドーピングによる低抵抗コンタクト形成

竹田圭吾, 星裕介, 笠原健司, 山根一高, Kentarou SAWANO, 浜屋宏平, 宮尾正信, 白木靖寛

Research output: Contribution to conference › Presentation

Conference	第71回応用物理学会学術講演会
Period	14/09/10 → …

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TY - CONF

T1 - Ge(111)への高濃度Sbデルタドーピングによる低抵抗コンタクト形成

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AU - SAWANO, Kentarou

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PY - 2010/9

Y1 - 2010/9

M3 - 口頭発表

T2 - 第71回応用物理学会学術講演会

Y2 - 14 September 2010

ER -