Ge(111)への高濃度Sbデルタドーピングによる低抵抗コンタクト形成

Research output: Contribution to conference › Presentation

Conference	第71回応用物理学会学術講演会
Period	14/09/10 → …

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author = "竹田圭吾 and \{星裕介\} and 笠原健司 and 山根一高 and Kentarou SAWANO and 浜屋宏平 and 宮尾正信 and 白木靖寛",

year = "2010",

month = sep,

language = "Japanese",

note = "第71回応用物理学会学術講演会 ; Conference date: 14-09-2010",

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TY - CONF

T1 - Ge(111)への高濃度Sbデルタドーピングによる低抵抗コンタクト形成

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AU - 山根一高, null

AU - SAWANO, Kentarou

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AU - 白木靖寛, null

PY - 2010/9

Y1 - 2010/9

M3 - 口頭発表

T2 - 第71回応用物理学会学術講演会

Y2 - 14 September 2010

ER -