MEMS-PZT薄膜センサを用いた高温用空間電荷分布測定装置の開発

小林, 佐藤, 三宅, 田中, 神田, Yasuhiro TANAKA

Research output: Contribution to journal › Article

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TY - JOUR

T1 - MEMS-PZT薄膜センサを用いた高温用空間電荷分布測定装置の開発

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AU - TANAKA, Yasuhiro

PY - 2021/9

Y1 - 2021/9

M3 - 記事

VL - 3-D-a1-1

SP - -

JO - 令和3年電気学会基礎・材料・共通部門大会

JF - 令和3年電気学会基礎・材料・共通部門大会

ER -