ULSIゲート絶縁膜の高輝度軟X線・硬X線光電子分光

Research output: Contribution to journal › Article

Cite this

@article{c1bcb805014c4523badd14067b8c8010,

title = "ULSIゲート絶縁膜の高輝度軟X線・硬X線光電子分光",

author = "Hiroshi NOHIRA and ムスタファビン・セマン and 白石貴義 and 高橋健介 and 高田恭孝 and 小林啓介 and 服部健雄",

year = "2003",

language = "Japanese",

volume = "Vol. 54",

pages = "698 -- 703",

journal = "化学工業",

issn = "0451-2014",

publisher = "化学工業社",

number = "No. 9",

}

TY - JOUR

T1 - ULSIゲート絶縁膜の高輝度軟X線・硬X線光電子分光

AU - NOHIRA, Hiroshi

AU - ムスタファビン・セマン, null

AU - 白石貴義, null

AU - 高橋健介, null

AU - 高田恭孝, null

AU - 小林啓介, null

AU - 服部健雄, null

PY - 2003

Y1 - 2003

UR - http://id.ndl.go.jp/bib/6680207

M3 - 記事

SN - 0451-2014

VL - Vol. 54

SP - 698

EP - 703

JO - 化学工業

JF - 化学工業

IS - No. 9

ER -