超高速酸化膜除去手法の開発に向けた減圧アーク陰極点の挙動軌跡解析

減圧アーク発生電極とプラズマに特化した画像処理アルゴリズム,及び,超高速ビデオカメラを用いて,減圧アーク陰極点の挙動軌跡解析を行った。成果としては,発生電極の改良,精度良い画像処理アルゴリズム,熱伝導シミュレーションの開発を行った。これらを利用し,挙動軌跡解析を行った結果,陰極点は分裂や再結合を繰り返すこと,陰極点は酸化膜とバルクの境界に発生し,その移動は酸化膜の蒸発や吹き飛ばしをしながら連続的に生じること,及び,この蒸発や吹き飛ばしは酸化膜厚に依存することがわかった。