直並列集積量子ホール素子の開発と評価

従来、単一の量子ホール素子の量子化ホール抵抗つまりh/e2(25.812 807 kΩ)の整数分の1の値という、取り扱いに不便な量で実現されていた直流抵抗標準を、素子を独自に開発したアルゴリズムで直並列に集積化することにより、10の冪の値に拡張した。具体的には10 kΩの集積量子ホール効果素子の開発に成功し、国家標準との整合性を10-8のレベルまで確認した。この技術を更に高度化し、今後国家標準として採用すれば、不確かさの向上が見込め、1次標準から直接校正できる範囲が拡大できることが明らかとなった。