集積回路設計のための高速・高精度な電磁界解析技術の研究

ダミーメタルや配線層などの複雑な構造を実効媒質定数で近似するための電磁界シミュレーション技術を確立した。実効媒質定数は、単位セルの固有値解析から導波路の伝搬定数を抽出して求める。60 GHz帯オンチップダイポールアンテナの反射係数の周波数特性についても計算と実測を比較した。ダミーメタルの実効媒質定数を考慮していない場合の解析は実測とずれているが、考慮した場合はよく一致することが確認できた。本研究で確立した実効媒質定数による計算は簡易かつ高速に計算ができ、実用上十分な精度が得られることが確認できた。