低温・短時間焼結プロセスによる高性能・高信頼性AlNセラミックスの作製法の確立

ホウ素を少量含む低温焼結助剤と通電加圧焼結プロセスである放電プラズマ焼結を併用することで、従来よりも低温・短時間の焼結により緻密かつ微細な組織を持つAlNセラミックスを作製した。さらに、針状のAlN結晶であるAlNウィスカーをAl系融液の直接窒化により合成し、原料粉末へ添加することでAlNセラミックスの組織制御を試みるとともに、緻密化や熱伝導性、機械的強度へのウィスカー添加の影響を明らかにした。