熱処理によるゲート金属(Ti or TiSi2)/AlGaN界面の化学結合状態変化

研究成果: 会議への寄与ポスター

本文言語Japanese
出版ステータス出版済み - 2013
イベント2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会(同志社大) -
継続期間: 1 1月 2013 → …

会議

会議2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会(同志社大)
Period1/01/13 → …

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